紅外加熱燈

IR（紅外線）加熱燈管於半導體應用優勢:
• 熱傳導效率高與反應快速： 輻射加熱直接作用於目標物，無需介質傳導，可實現每秒數百度的極速升溫與降溫。
• 高潔淨度（無污染風險）： 使用高品質石英管封裝發熱體，不產生微粒（Particles），且屬非接觸式加熱，完全符合無塵室極高的潔淨度要求。
• 分區獨立控溫（Uniformity）： 可透過多組 IR 燈管排列陣列，進行多區域獨立功率調控，克服晶圓邊緣熱損失問題，達到極佳的晶圓面內溫度均勻性。
• 波長可精準匹配：涵蓋短波至中波（0.8~4.0 µm），可根據材料對光譜的吸收特性，選擇短波（Shortwave）、快中波（Fast Mid-wave）或中波燈管，提升能源轉換效率。




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